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激光微孔加工 —— 单晶硅芯片


硅芯片高定位精度微孔加工

零件:某精密仪器单晶硅芯片

材料:硅片

工艺:超快激光

加工尺寸:φ270μm

定位精度:±5μm

处理效果:无毛刺,无热影响区

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